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碳化硅晶体生长和加工技术研发及产业化丨2020年度中国科学院科技促进发展奖获奖团队
发布时间:2021-12-09 17:52:55 | 来源:中国科学院院刊 | 作者: | 责任编辑:王虔
关键词：
碳化硅,晶体,生长,加工技术
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